• ABOUT K-PRL

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KRISS - Plasma Research Laboratory

KAU - Plasma Research Laboratory​

- 반도체 / 디스플레이 분야 플라즈마 장비/공정/물성/측정 연구

- 플라즈마 측정/장비 원천기술 연구개발 및 상용화

- 차세대 플라즈마 기술 연구

- 플라즈마 공정장비 지능화 기술 연구

- 반도체 및 디스플레이 식각/증착/세정 기술 연구

- 반도체 고종횡비 식각, 반도체 원자층 식각

- 플라즈마 제어를 통한 이차원소재, 퀀텀 닷, 나노 신소재 개발 연구 

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• 연구협력 / 공동연구​

- Princeton University, Princeton Plasma Physics Laboratory (PPPL, USA)

- Ruhr-Universität Bochum (Germany) 

- Wigner Research Centre for Physics (Hungary)

- 국내외 반도체/디스플레이 기업

- 국내 대학 및 정부출연연구소